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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心發(fā)生器水蒸氣發(fā)生器SHG5050型微量水分發(fā)生器
SHG5050型微量水分發(fā)生器

產(chǎn)品簡介

SHG5050型微量水分發(fā)生器,本裝置用于產(chǎn)生水氣含量在0~100 ppm范圍連續(xù)可調(diào)的氣體,以He/Ar/N2等惰性氣體為載氣,流量0~600 sccm; 出廠前輸出濃度經(jīng)上海計(jì)量院標(biāo)定

更新時(shí)間:2025-05-13
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
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1      總體參數(shù)

1.1 水含量

0~100 ppm

1.2 氣體流量

0~600 sccm

1.3 載氣

特氣

1.4 連續(xù)運(yùn)行時(shí)長

12 個(gè)月

1.5管路材質(zhì)

SUS316L

1.6額定功率

500W@220VAC 50Hz

2      工作原理

SHG5050型微量水分發(fā)生器


1 微量水分發(fā)生器工藝流程圖

(1)    濕路載氣經(jīng)減壓閥2-1#調(diào)節(jié)到5bar AG,在飽和器中加濕,得到約2000ppm的飽和含濕氣體;飽和含濕氣體經(jīng)過減壓閥2-2#調(diào)節(jié)到2bar AG左右,再經(jīng)質(zhì)量流量控制器2#調(diào)節(jié)流量。

(2)    干路載氣經(jīng)減壓閥1-1#調(diào)節(jié)到2bar AG左右,再經(jīng)質(zhì)量流量控制器1#調(diào)節(jié)流量。

(3)    干路和濕路氣體流量比例控制在19:1,再經(jīng)過混合器后得到濕度約100ppm的目標(biāo)含濕氣體輸出。

(4)    飽和器通過冷水機(jī)控溫,使其溫度在10℃

3   設(shè)備接口  

桌面式機(jī)箱,

載氣入口:1/8’’ 卡套

氣體出口:1/8’’ 卡套

SHG5050型微量水分發(fā)生器




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