SHG5050型微量水分發(fā)生器,本裝置用于產(chǎn)生水氣含量在0~100 ppm范圍連續(xù)可調(diào)的氣體,以He/Ar/N2等惰性氣體為載氣,流量0~600 sccm; 出廠前輸出濃度經(jīng)上海計(jì)量院標(biāo)定
產(chǎn)品分類
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1 總體參數(shù)
1.1 水含量 | 0~100 ppm |
1.2 氣體流量 | 0~600 sccm |
1.3 載氣 | 特氣 |
1.4 連續(xù)運(yùn)行時(shí)長 | 12 個(gè)月 |
1.5管路材質(zhì) | SUS316L |
1.6額定功率 | 500W@220VAC 50Hz |
2 工作原理
圖1 微量水分發(fā)生器工藝流程圖
(1) 濕路載氣經(jīng)減壓閥2-1#調(diào)節(jié)到5bar AG,在飽和器中加濕,得到約2000ppm的飽和含濕氣體;飽和含濕氣體經(jīng)過減壓閥2-2#調(diào)節(jié)到2bar AG左右,再經(jīng)質(zhì)量流量控制器2#調(diào)節(jié)流量。
(2) 干路載氣經(jīng)減壓閥1-1#調(diào)節(jié)到2bar AG左右,再經(jīng)質(zhì)量流量控制器1#調(diào)節(jié)流量。
(3) 干路和濕路氣體流量比例控制在19:1,再經(jīng)過混合器后得到濕度約100ppm的目標(biāo)含濕氣體輸出。
(4) 飽和器通過冷水機(jī)控溫,使其溫度在10℃
3 設(shè)備接口
桌面式機(jī)箱,
載氣入口:1/8’’ 卡套
氣體出口:1/8’’ 卡套